下游市場的快速發(fā)展促進了原子層沉積設備的迅速發(fā)展。
薄膜沉積是指將特定材料沉積在基礎上形成薄膜,具有光學、電學等特殊性能。根據(jù)不同的工藝原理,可分為物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)設備。
原子層沉積設備是一種重要的膜沉積設備,由于ALD技術的表面化學反應自限,具有優(yōu)良的三維共形性、大面積膜均勻性和準確的膜厚控制,廣泛應用于不同環(huán)境下的膜沉積、光伏、半導體、柔性電子、MEMS、催化、光學設備等先進領域具有良好的工業(yè)化前景。
近年來,我國原子層沉積設備下游產業(yè)發(fā)展迅速,推動了原子層沉積設備市場的快速發(fā)展。
在光伏領域,我國光伏產業(yè)在政策和人力資源的大力支持下發(fā)展迅速。
在半導體領域,中國正處于新一代智能手機、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G通信等行業(yè)快速崛起的過程中,已成為世界上重要的半導體應用和消費市場之一。
在新顯示領域,中國的主流顯示技術是LCD和OLED。隨著行業(yè)的不斷升級,柔性電子、Mini/MicroLED等新顯示技術的市場規(guī)模將迅速提升。

