v  功能特點

    用于超導量子實驗室制備超導結（量子比特和約瑟夫森結）和量子器件，可以制備大面積、高穩定性和可重復性超導結。

ü  四腔室超高真空系統

ü  進樣室（LoadLock,預處理）

ü  離子銑室（Ion Milling Chamber）

ü  電子束蒸發室（E-beam Chamber）

ü  氧化室（OXIDATION Chamber）

ü  超高真空傳輸系統(UHV Tunnel integration system)